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FLTRZ二氧化碳系列

FLTRZ二氧化碳系列

適用范圍

FLTRZ系列Chiller采用的CO?（二氧化碳，R744）制冷劑，是契合全球“雙碳”戰(zhàn)略與huan 保趨勢的gao 效制冷設備，以天然CO?為制冷介質(zhì)，為半導體行業(yè)提供綠色可靠的制冷解決方案。

全國服務熱線 400-100-3163

產(chǎn)品參數(shù)

Product Parameter

產(chǎn)品型號 FLTRZ-001W FLTRZ-003W FLTRZ-006W FLTRZ-011W
FLTRZ-001 FLTRZ-003 FLTRZ-006 FLTRZ-011
介質(zhì)溫度范圍 +10℃?+25℃
導熱介質(zhì)溫控精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃）
壓縮機 壓縮機(變頻控制)
節(jié)流方式 電子膨脹閥
制冷量AT 10℃ 3kW 7kW 13kW 25kW
內(nèi)循環(huán)容積 4L 5L 8L 12L
膨脹罐容積 10L 10L 15L 25L
制冷劑 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0）
載冷劑 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純水DI等
進出口接管尺寸 M24*1.5 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5
?冷型（w）
溫度20度		 冷卻水量 700L/H 1650L/H 3200L/H 5600L/H
接管尺寸 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5 M45*1.5
工藝過程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程目標溫度
標準電源 單相220V 50Hz/三相220V 50/60Hz/
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz		 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名稱含W表示水冷，不含則為風冷。
2.額定測試條件：進?溫度：20℃；出?溫度：25℃；
3.設備環(huán)境溫度不能高于32℃，提供冷卻水溫度不能高于32℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設備的最低使用溫度。
4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請以機組銘牌參數(shù)為主。
5.如需特殊?標品定制，請與我司聯(lián)系。

 

產(chǎn)品型號 FLTRZ-001WS FLTRZ-003WS FLTRZ-006WS FLTRZ-011WS
FLTRZ-001S FLTRZ-003S FLTRZ-006S FLTRZ-011S
介質(zhì)溫度范圍 +10℃?+25℃
導熱介質(zhì)溫控精度 ±0.005℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
壓縮機 壓縮機(變頻控制)
節(jié)流方式 電子膨脹閥
制冷量AT 10℃ 3kW 7kW 13kW 25kW
內(nèi)循環(huán)容積 4L 5L 8L 12L
膨脹罐容積 10L 10L 15L 25L
制冷劑 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0）
載冷劑 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純水DI等
進出口接管尺寸 M24*1.5 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5
?冷型（w）
溫度20度		 冷卻水量 700L/H 1650L/H 3200L/H 5600L/H
接管尺寸 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5 M45*1.5
工藝過程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程目標溫度
標準電源 單相220V 50Hz/三相220V 50&60Hz/
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz		 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名稱含W表示水冷，不含則為風冷。
2.額定測試條件：進?溫度：20℃；出?溫度：25℃；
3.設備環(huán)境溫度不能高于32℃，提供冷卻水溫度不能高于32℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設備的最低使用溫度。
4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請以機組銘牌參數(shù)為主。
5.如需特殊?標品定制，請與我司聯(lián)系。

 

產(chǎn)品型號 FLTRZ-201W FLTRZ-203W FLTRZ-206W FLTRZ-211W
介質(zhì)溫度范圍 -25℃?90℃
導熱介質(zhì)溫控精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃）
壓縮機 壓縮機(變頻控制)
節(jié)流方式 電子膨脹閥
流量 30~60L/min 60~120L/min
制冷量
kW?at		 90℃ 3kW 7.5kW 13kW 25kW
50℃ 3kW 7.5kW 13kW 25kW
0℃ 2.7kW 6.4kW 11.7kW 22.5kW
-10℃ 2.1kW 5.2kW 9.5kW 19kW
-20℃ 1.3kW 3.4kW 6.2kW 12.4kW
內(nèi)循環(huán)容積 4L 5L 8L 12L
膨脹罐容積 10L 10L 15L 25L
制冷劑 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0）
載冷劑 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
進出口接管尺寸 M24*1.5 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5
?冷型（w）
溫度20度		 冷卻水量 700L/H 1650L/H 3200L/H 6000L/H
接管尺寸 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5 M45*1.5
工藝過程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程目標溫度
標準電源 單相220V 50Hz/三相220V 50&60Hz/
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz		 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名稱含W表示水冷，不含則為風冷。
2.額定測試條件：進?溫度：15℃；出?溫度：20℃；
3.設備環(huán)境溫度不能高于23℃，提供冷卻水溫度不能高于23℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設備的最低使用溫度。
4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請以機組銘牌參數(shù)為主。
5.如需特殊?標品定制，請與我司聯(lián)系。

 

產(chǎn)品型號 FLTRZ-401W FLTRZ-403W FLTRZ-406W FLTRZ-411W
介質(zhì)溫度范圍 -40℃?90℃
導熱介質(zhì)溫控精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃）
壓縮機 壓縮機(變頻控制)
節(jié)流方式 電子膨脹閥
流量 30~60L/min 60~120L/min
制冷量
kW?at		 90℃ 3.5kW 7.5kW 13kW 25kW
50℃ 3.5kW 7.5kW 13kW 25kW
0℃ 2.7kW 6.4kW 11.7kW 22.5kW
-15℃ 1.5kW 3.7kW 6.8kW 13kW
-25℃ 1kW 2.6kW 5kW 9.6kW
-35℃ 0.2kW 0.7kW 1.5kW 3kW
內(nèi)循環(huán)容積 4L 5L 8L 12L
膨脹罐容積 10L 10L 15L 25L
制冷劑 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0）
載冷劑 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
進出口接管尺寸 M24*1.5 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5
?冷型（w）
溫度15度		 冷卻水量 700L/H 1650L/H 3200L/H 6000L/H
接管尺寸 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5 M45*1.5
工藝過程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程目標溫度
1.名稱含W表示水冷，不含則為風冷。
2.額定測試條件：進?溫度：15℃；出?溫度：20℃；
3.提供冷卻水溫度不能高于15℃，冷卻水溫過高將影響設備的最低使用溫度。
4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請以機組銘牌參數(shù)為主。
5.如需特殊?標品定制，請與我司聯(lián)系。

 

產(chǎn)品型號 FLTRZ-801W FLTRZ-803W FLTRZ-806W FLTRZ-811W
介質(zhì)溫度范圍 -70℃?90℃
導熱介質(zhì)溫控精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃）
壓縮機 壓縮機(變頻控制)
節(jié)流方式 電子膨脹閥
流量 30~60L/min 60~120L/min
制冷量
kW?at		 90℃ 3kW 7.5kW 13kW 25kW
20℃ 3kW 7.5kW 13kW 25kW
-55℃ 0.6kW 1.8kW 3.5kW 7kW
-65℃ 0.3kW 0.9kW 1.81kW 4kW
內(nèi)循環(huán)容積 4L 5L 8L 12L
膨脹罐容積 10L 10L 15L 25L
制冷劑 R744(二氧化碳)/R508B
載冷劑 硅油、氟化液等
進出口接管尺寸 M24*1.5 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5
?冷型（w）
溫度15度		 冷卻水量 900L/H 2250L/H 4400L/H 8000L/H
接管尺寸 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5 M45*1.5
工藝過程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程目標溫度
標準電源 單相220V 50Hz/三相220V 50/60Hz/
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz		 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名稱含W表示水冷，不含則為風冷。
2.額定測試條件：進?溫度：15℃；出?溫度：20℃；
3.設備環(huán)境溫度不能高于23℃，提供冷卻水溫度不能高于23℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設備的最低使用溫度。
4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請以機組銘牌參數(shù)為主。
5.如需特殊?標品定制，請與我司聯(lián)系。

 

型號 FLTRZ-D-D3D3W
管道 通道1 通道2
溫度范圍 -25℃?+90℃ -25℃?+90℃
控溫精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃） ±0.1℃（可定制±0.01℃）
制冷量AT -10℃ 5.2kW 5.2kW
制冷量AT -20℃ 3.4kW 3.4kW
導熱介質(zhì)接口 M30*1.5
?冷型（w）
溫度20度		 冷卻水量 3300L/H
接管尺寸 M38*1.5
載冷劑 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
制冷劑 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0）
工藝過程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程目標溫度
標準電源 單相220V 50Hz
三相220V 50&60Hz
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名稱含W表示水冷，不含則為風冷。
2.額定測試條件：進?溫度：15℃；出?溫度：20℃；
3.設備環(huán)境溫度不能高于23℃，提供冷卻水溫度不能高于23℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設備的最低使用溫度。
4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請以機組銘牌參數(shù)為主。
5.支持多通道定制，如需特殊?標品定制，請與我司聯(lián)系。

 

型號 FLTRZ-D-E6E6W
管道 通道1 通道2
溫度范圍 -40℃?+90℃ -40℃?+90℃
控溫精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃） ±0.1℃（可定制±0.01℃）
制冷量AT -15℃ 6.8kW 6.8kW
制冷量AT -35℃ 2.2kW 2.2kW
導熱介質(zhì)接口 M38*1.5
?冷型（w）
溫度15度		 冷卻水量 6000L/H
接管尺寸 M45*1.5
載冷劑 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
制冷劑 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0）
工藝過程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程目標溫度
標準電源 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名稱含W表示水冷，不含則為風冷。
2.額定測試條件：進?溫度：15℃；出?溫度：20℃；
3.設備環(huán)境溫度不能高于23℃，提供冷卻水溫度不能高于23℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設備的最低使用溫度。
4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請以機組銘牌參數(shù)為主。
5.支持多通道定制，如需特殊?標品定制，請與我司聯(lián)系。

行業(yè)應用

APPLICATION

半導體FAB工藝過程控溫解決方案

半導體制造是一個對環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對溫度非常敏感。

精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準確，從而提高芯片的性能和良率。

半導體封測工藝過程控溫解決方案

半導體封測工藝是半導體生產(chǎn)流程中的關鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對溫度進行嚴格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。