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FLTZ-U超純水溫控系列

FLTZ-U超純水溫控系列

適用范圍

Chiller是由緊密耦合的制冷循環(huán)與介質(zhì)循環(huán)兩大核心系統(tǒng)構(gòu)成，通過兩個(gè)循環(huán)通道間的介質(zhì)gao 效換熱，實(shí)現(xiàn)對(duì)目標(biāo)設(shè)備的精準(zhǔn)、穩(wěn)定溫度控制。

 

全國服務(wù)熱線 400-100-3163

產(chǎn)品參數(shù)

Product Parameter

原理：制冷劑在系統(tǒng)中循環(huán)，通過壓縮、冷凝、節(jié)流和蒸發(fā)四個(gè)過程實(shí)現(xiàn)制冷；

同時(shí)，載冷劑（介質(zhì)）在獨(dú)立的循環(huán)管路中流動(dòng)，通過板換換熱器將冷量持續(xù)輸送給目標(biāo)設(shè)備，并循環(huán)使用。

CHILLER超純水溫控系列
型號(hào) FLTZ-U-003W FLTZ-U-D001W FLTZ-U-D002W FLTZ-U-D003W
通道類型 1-loop?independent 2-loop?independent 2-loop?independent 2-loop?independent
性能參數(shù) 通道型號(hào) CH1 CH1 CH2 CH1 CH2 CH1 CH2
循環(huán)方式 沖洗型 循環(huán)型 循環(huán)型 循環(huán)型 沖洗型 循環(huán)型 沖洗型
溫度范圍 15~40℃ 15~40℃ 15~40℃ 15~40℃ 15~40℃ 15~40℃ 15~40℃
溫度控制精度 ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃
冷卻能力 9.4kW@20℃ 0.6kW@20℃ 0.6kW@20℃ 1.5kW@20℃ 6.3kW@20℃ 3kW@20℃ 6.2kW@20℃
加熱能力 10kW 0.6kW 2kW 1.5kW 12.5kW 3kW 12.5kW
循環(huán)液類型/電阻率 DI?WATER@10~18MΩ·cm DI?WATER@10~18MΩ·cm DI?WATER@10~18MΩ·cm DI?WATER@10~18MΩ·cm
循環(huán)液流量壓力 [email protected] [email protected] [email protected] [email protected] [email protected] [email protected] [email protected]
循環(huán)液接口 Rc3/4 Rc3/8 Rc3/8 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4
PCW溫度 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃
PCW流量 2m3/h 1.3m3/h 1.3m3/h 2m3/h 2m3/h 3.8m3/h 3.8m3/h
PCW壓力 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar
PCW接口 Rc3/4 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4
安全裝置 過載保護(hù)功能 壓縮機(jī)、循環(huán)泵、加熱器等熱過載保護(hù)。
電源保護(hù)功能 電源過電流、過欠壓、缺相等保護(hù)
液位保護(hù) 低流量、低液位等保護(hù)
安全聯(lián)鎖裝置 EMO+INTERLOCK
上鎖掛牌裝置 LOTO裝置
漏液檢測(cè)裝置 設(shè)備內(nèi)外部LEAK?SENSON
通訊類型 支持多種通訊協(xié)議 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。
安裝環(huán)境 環(huán)境溫度 10~40℃
環(huán)境濕度 30~70%RH
電源 220VAC±10%，三相(可定制)
外形尺寸cm 45*90*150 43*90*150 45*120*150 65*115*170

行業(yè)應(yīng)用

APPLICATION

半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體制造是一個(gè)對(duì)環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對(duì)溫度非常敏感。

精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準(zhǔn)確，從而提高芯片的性能和良率。

半導(dǎo)體封測(cè)工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。