真空控溫卡盤Chuck

適用范圍

冠亞恒溫LNEYA真空控溫卡盤Chuck提供8寸卡盤、12寸卡盤以及非標(biāo)定制方形冷板，支持-70~+200℃寬溫度范圍，也可以定制各種其他溫度范圍，內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，準(zhǔn)確FID調(diào)節(jié)控溫；支持直冷、液冷、?冷；

全國服務(wù)熱線 400-100-3163

產(chǎn)品特點

Product Features

特點一支持-70~+200℃(可以定制各種溫度范圍）

特點二 支持直冷、液冷、?冷

特點三內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，高精度FID調(diào)節(jié)控溫

特點四8寸卡盤、12寸卡盤、非標(biāo)方形冷板

產(chǎn)品參數(shù)

Product Parameter

應(yīng)用介紹：
探針臺是半導(dǎo)體晶圓與芯片電學(xué)性能測試的核心裝備，其溫度穩(wěn)定性直接決定測試精度與設(shè)備可靠性。
本方案為探針臺提供一體化高精度溫控解決方案，由精密液冷機（CHILLER）、溫控卡盤（CHUCK）、干燥單元（DRYER）及電氣控制柜組成完整閉環(huán)系統(tǒng)。通過主動熱控技術(shù)（Active Thermal Control），實現(xiàn)對晶圓、探針臺主體及關(guān)鍵部件的精準(zhǔn)溫度調(diào)控與gao 效散熱，有效抑制測試過程中的溫度漂移，保證測試數(shù)據(jù)一致性與設(shè)備長期穩(wěn)定運行。
整套系統(tǒng)控溫精度高、響應(yīng)速度快、運行穩(wěn)定可靠，可滿足半導(dǎo)體晶圓檢測、可靠性測試、高端探針臺配套等嚴(yán)苛場景需求，全面提升測試效率與產(chǎn)品良率。

卡盤定制系統(tǒng)
卡盤類型	GY-CP-8HCV		GY-CP-12HCV			GY-CP-SQ3434HCV
配套Chiller	GY-PCH-803 GY-PCH-803W	GY-PCH-805 GY-PCH-805W	GY-PCH-803 GY-PCH-803W	GY-PCH-805 GY-PCH-805W	GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W	GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W
溫度范圍	-45℃-200℃	-55℃-200℃	-45℃-200℃	-55℃-200℃	-65℃-200℃	-65℃-200℃
Chiller電源	380 VAC ± 10%，三相(可定制)
Chiller總功率	8.5kW	12.5kW	8.5kW	12.5kW	27.5kW	27.5kW
配套控溫模組	DX-CHUCK-3
溫度均勻性	土0.5℃
Chuck加熱能力	1.5KW@DC48V		2.5KW@DC120V			3KW@DC48V
Chuck表面處理	鍍鎳/鍍金
控溫方式	內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，精確PID調(diào)節(jié)控溫
如有其他需求，可非標(biāo)定制