冠亞恒溫小編為大家詳解冠亞恒溫研發(fā)的超純水溫控系列，該系列是冠亞專為高潔凈度溫控場景設(shè)計的核心產(chǎn)品，以DI WATER為循環(huán)介質(zhì)，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓、光伏電池、液晶面板等對介質(zhì)潔凈度要求較高的工藝環(huán)節(jié)，溫度范圍+15℃~+40℃，控溫精度±0.1℃，以下從控溫原理與日常維護兩方面，為大家詳細說明。

控溫原理方面，冠亞研發(fā)的超純水溫控系列由制冷循環(huán)與介質(zhì)循環(huán)兩大核心系統(tǒng)構(gòu)成，兩大系統(tǒng)協(xié)同運行，實現(xiàn)對目標(biāo)設(shè)備的jing準(zhǔn)溫度控制。制冷系統(tǒng)中，壓縮機排出高溫高壓的制冷劑蒸汽，經(jīng)冷凝器將熱量傳遞給外界，制冷劑冷凝為液體后，經(jīng)過節(jié)流閥降溫降壓，成為低溫低壓的液態(tài)制冷劑；在蒸發(fā)器中，液態(tài)制冷劑與介質(zhì)循環(huán)系統(tǒng)的超純水進行換熱，吸收超純水的熱量，使制冷劑蒸發(fā)為氣態(tài)，再回到壓縮機，完成完整的制冷循環(huán)。

介質(zhì)循環(huán)分為沖洗型與循環(huán)型兩種模式，可根據(jù)工藝需求靈活選擇。沖洗型循環(huán)中，超純水通過循環(huán)泵輸送至目標(biāo)設(shè)備進行換熱，換熱后的超純水直接回流至設(shè)備，完成循環(huán)；循環(huán)型循環(huán)中，超純水經(jīng)水箱補液后，由循環(huán)泵輸送至目標(biāo)設(shè)備，換熱后的介質(zhì)回到設(shè)備形成閉環(huán)循環(huán)，減少介質(zhì)損耗。設(shè)備采用智能算法控制，可實現(xiàn)系統(tǒng)動態(tài)溫度快速響應(yīng)，溫度跟隨性良好，you效減少工藝過程中的溫度波動。

維護要點上，日常需按規(guī)范流程操作，保障設(shè)備穩(wěn)定運行。開機前，需檢查電源連接情況，確認220V AC±10%供電正常，同時檢查超純水的電導(dǎo)率，確保介質(zhì)電阻率符合10~18MΩ·cm的要求，避免雜質(zhì)離子污染設(shè)備內(nèi)部管路。運行過程中，需實時監(jiān)測介質(zhì)流量、壓力與溫度，介質(zhì)流量需保持在45LPM~30LPM區(qū)間，壓力控制在0.43MPa~0.45MPa，密切觀察設(shè)備有無異響、漏液等異常情況，發(fā)現(xiàn)問題及時停機排查。

定期維護需按固定周期開展，每3個月檢查設(shè)備內(nèi)部過濾器，及時清理雜質(zhì)，防止水垢生成，降低游離離子污染風(fēng)險；每6個月對蒸發(fā)器、冷凝器進行清洗，去除表面污垢，提升換熱效率；每12個月檢查循環(huán)泵、壓縮機的運行狀態(tài)，更換潤滑油，保障設(shè)備核心部件正常工作。停機后，需關(guān)閉電源與介質(zhì)閥門，排空設(shè)備內(nèi)部介質(zhì)，清理設(shè)備表面污漬，做好運行記錄，注明運行時長、參數(shù)及設(shè)備狀態(tài)。此外，設(shè)備具備過載保護、電源保護、液位保護等功能，維護時需定期檢查保護裝置，確保其正常運行，避免設(shè)備故障。

FLS常溫高精度系列

適用范圍 應(yīng)用： 原理：CHILLER 高精度系列設(shè)備集成蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進行制冷加熱，可實現(xiàn)高精度控溫，適用于光刻機、涂膠顯影設(shè)備等領(lǐng)域制冷加熱控溫。 核心技術(shù)與優(yōu)勢： 1.高精度控溫： 采用PID算法或PLC控制，實現(xiàn)溫度波動≤±0.005℃，適用于高精密制造場景。 2.多場景適配： 支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用。 產(chǎn)品特點 Product Features …

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FLTZH高溫系列

適用范圍 應(yīng)用： CHILLER高溫系列主要應(yīng)用與薄膜沉積領(lǐng)域，適用于CVD、PECVD、MOCVD等需要帶走高溫?zé)崃康墓に囍瞥讨?，滿足半導(dǎo)體高溫測試需求。 核心技術(shù)與優(yōu)勢： 1、高溫范圍寬：出口溫度最高可達300℃。 2、控溫精準(zhǔn)：采用智能算法，實現(xiàn)系統(tǒng)動態(tài)溫度快速響應(yīng)、控制精度±0.1℃（可選配±0.01℃），具有良好的溫度跟隨性。 3、節(jié)約能耗:采用變頻自適應(yīng)調(diào)節(jié)、軟啟動等技術(shù)，實現(xiàn)…

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FLTZ-U超純水溫控系列

適用范圍 Chiller是由緊密耦合的制冷循環(huán)與介質(zhì)循環(huán)兩大核心系統(tǒng)構(gòu)成，通過兩個循環(huán)通道間的介質(zhì)gao 效換熱，實現(xiàn)對目標(biāo)設(shè)備的精準(zhǔn)、穩(wěn)定溫度控制。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 原理：制冷劑在系統(tǒng)中循環(huán)，通過壓縮、冷凝、節(jié)流和蒸發(fā)四個過程實現(xiàn)制冷； 同時，載冷劑（介質(zhì)）在獨立的循環(huán)管路中流動，通過板換換熱器將冷量持續(xù)…

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FLTRZ二氧化碳系列

適用范圍 FLTRZ系列Chiller采用的CO?（二氧化碳，R744）制冷劑，是契合全球“雙碳”戰(zhàn)略與huan 保趨勢的gao 效制冷設(shè)備，以天然CO?為制冷介質(zhì)，為半導(dǎo)體行業(yè)提供綠色可靠的制冷解決方案。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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氟化液回收裝置

適用范圍 氟化液回收系統(tǒng)采用一體式風(fēng)冷設(shè)計。采用品牌的壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器等部件，形成制冷系統(tǒng)提供冷源，蒸發(fā)器與客戶端氟化液循環(huán)系統(tǒng)進行換熱，對氟化液進行冷凝后回收。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏方式，可以顯示環(huán)境溫度，具有電源欠壓、缺相報警，機組本地觸摸屏可實現(xiàn)所有溫度監(jiān)視功能。 同時，…

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FLTZ變頻多通道系列Chiller

FLTZ系列多通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。

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單通道系列 Single Channel Chiller

FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

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面板系列Panel Chiller

面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保惡劣?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負荷，實時調(diào)節(jié)?溫。

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帕爾貼Chiller

冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制； 基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制；

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負壓型控溫機組

負壓型控溫系統(tǒng)通過負壓環(huán)境下的流體循環(huán)實現(xiàn)精準(zhǔn)溫度控制，原理：通過負壓發(fā)?器驅(qū)動導(dǎo)熱介質(zhì)（?/油）循環(huán)，避免泄漏?險，適?于各種類型板卡冷卻。

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