冠亞研發(fā)的CHILLER制冷循環(huán)器FLTZ單通道系列，包含不同溫度區(qū)間的型號，可適配不同工業(yè)場景的溫控需求。其中，FLTZ-001、FLTZ-002、FLTZ-003、FLTZ-004、FLTZ-006W屬于+5℃～+40℃溫度范圍的型號，該系列設(shè)備依托單通道變頻集成單級蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)供給功能，為工業(yè)場景提供穩(wěn)定的冷卻介質(zhì)，適用于光刻機(jī)、涂膠顯影、涂膠顯影設(shè)備等領(lǐng)域的jing密控溫需求，以下結(jié)合核心參數(shù)與應(yīng)用場景展開說明。

從核心參數(shù)來看，該批次型號的溫度范圍統(tǒng)一為+5℃～+40℃（可擴(kuò)展到90℃），控制模式支持循環(huán)液出口溫度控制與工件負(fù)載溫度控制（選配），出口控溫精度穩(wěn)定在±0.1℃，部分型號可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備，可滿足jing密制程對溫度波動的嚴(yán)格要求。工藝控溫維度，各型號制冷量覆蓋2.54kW至384W區(qū)間，加熱量從0.54kW至7.54kW不等，可根據(jù)不同工況的冷熱負(fù)荷需求匹配對應(yīng)型號，避免制冷量與加熱功率適配不足的問題。

介質(zhì)類型方面，該系列適配氟化液、乙二醇水溶液或去離子水等介質(zhì)，其中去離子水可滿足微電子領(lǐng)域?qū)橘|(zhì)低電導(dǎo)率的要求，制冷劑采用R404A、R410A等，適配不同溫度區(qū)間的制冷需求。介質(zhì)流量壓力覆蓋15LPM@3bar至30LPM@3bar，介質(zhì)接口涵蓋Rc1/2、Rc3/4等規(guī)格，冷卻水接口包括Rc1/2、Rc1/1等，冷卻水流量從0.6m3/h到5.5m3/h不等，可匹配不同現(xiàn)場的水路與管路布局需求。

安全防護(hù)層面，該系列設(shè)備具備自我診斷功能、相序斷相保護(hù)器、電源過電流、欠欠壓保護(hù)、加熱系統(tǒng)保護(hù)、進(jìn)出液壓力監(jiān)控及低位保護(hù)等多重防護(hù)，可規(guī)避運(yùn)行過程中的安全隱患。通訊類型支持MODBUSRTU/TCP/IP協(xié)議或ETHERCAT、LONWORKS等，可接入自動化控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控與參數(shù)調(diào)整。安裝環(huán)境要求無腐蝕性或易燃性氣體（無腐蝕性或易燃性氣體30-70%/無冷凝），電源適配220VAC±10%、單相或380VAC±10%、三相（可定制），總電功率從2.54kW到25kW不等，適配不同功率負(fù)荷的工業(yè)場景。

應(yīng)用場景上，FLTZ-001至FLTZ-006W型號憑借+5℃～+40℃的常規(guī)溫度范圍，適配jing密機(jī)械加工、電子元件測試、實(shí)驗(yàn)室恒溫設(shè)備冷卻等場景。在電子元件制造環(huán)節(jié)，該設(shè)備可為光刻機(jī)、涂膠顯影設(shè)備提供穩(wěn)定冷卻介質(zhì)，維持設(shè)備運(yùn)行溫度穩(wěn)定，避免溫度過高影響元件加工精度；在實(shí)驗(yàn)室設(shè)備冷卻場景，可對jing密實(shí)驗(yàn)儀器進(jìn)行恒溫控溫，保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性；在jing密機(jī)械加工領(lǐng)域，可適配機(jī)床、刀具冷卻等溫控需求，維持加工過程的溫度一致性，助力工業(yè)生產(chǎn)的穩(wěn)定運(yùn)行。

FLS常溫高精度系列

適用范圍 應(yīng)用： 原理：CHILLER 高精度系列設(shè)備集成蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進(jìn)行制冷加熱，可實(shí)現(xiàn)高精度控溫，適用于光刻機(jī)、涂膠顯影設(shè)備等領(lǐng)域制冷加熱控溫。 核心技術(shù)與優(yōu)勢： 1.高精度控溫： 采用PID算法或PLC控制，實(shí)現(xiàn)溫度波動≤±0.005℃，適用于高精密制造場景。 2.多場景適配： 支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features …

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FLTZH高溫系列

適用范圍 應(yīng)用： CHILLER高溫系列主要應(yīng)用與薄膜沉積領(lǐng)域，適用于CVD、PECVD、MOCVD等需要帶走高溫?zé)崃康墓に囍瞥讨校瑵M足半導(dǎo)體高溫測試需求。 核心技術(shù)與優(yōu)勢： 1、高溫范圍寬：出口溫度最高可達(dá)300℃。 2、控溫精準(zhǔn)：采用智能算法，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)動態(tài)溫度快速響應(yīng)、控制精度±0.1℃（可選配±0.01℃），具有良好的溫度跟隨性。 3、節(jié)約能耗:采用變頻自適應(yīng)調(diào)節(jié)、軟啟動等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)…

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FLTZ-U超純水溫控系列

適用范圍 Chiller是由緊密耦合的制冷循環(huán)與介質(zhì)循環(huán)兩大核心系統(tǒng)構(gòu)成，通過兩個循環(huán)通道間的介質(zhì)gao 效換熱，實(shí)現(xiàn)對目標(biāo)設(shè)備的精準(zhǔn)、穩(wěn)定溫度控制。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 原理：制冷劑在系統(tǒng)中循環(huán)，通過壓縮、冷凝、節(jié)流和蒸發(fā)四個過程實(shí)現(xiàn)制冷； 同時，載冷劑（介質(zhì)）在獨(dú)立的循環(huán)管路中流動，通過板換換熱器將冷量持續(xù)…

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FLTRZ二氧化碳系列

適用范圍 FLTRZ系列Chiller采用的CO?（二氧化碳，R744）制冷劑，是契合全球“雙碳”戰(zhàn)略與huan 保趨勢的gao 效制冷設(shè)備，以天然CO?為制冷介質(zhì)，為半導(dǎo)體行業(yè)提供綠色可靠的制冷解決方案。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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氟化液回收裝置

適用范圍 氟化液回收系統(tǒng)采用一體式風(fēng)冷設(shè)計。采用品牌的壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器等部件，形成制冷系統(tǒng)提供冷源，蒸發(fā)器與客戶端氟化液循環(huán)系統(tǒng)進(jìn)行換熱，對氟化液進(jìn)行冷凝后回收。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏方式，可以顯示環(huán)境溫度，具有電源欠壓、缺相報警，機(jī)組本地觸摸屏可實(shí)現(xiàn)所有溫度監(jiān)視功能。 同時，…

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FLTZ變頻多通道系列Chiller

FLTZ系列多通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。

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單通道系列 Single Channel Chiller

FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

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面板系列Panel Chiller

面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負(fù)載，確保惡劣?況下持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負(fù)荷，實(shí)時調(diào)節(jié)?溫。

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帕爾貼Chiller

冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制； 基于經(jīng)過實(shí)踐驗(yàn)證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠?yàn)榈入x子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制；

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負(fù)壓型控溫機(jī)組

負(fù)壓型控溫系統(tǒng)通過負(fù)壓環(huán)境下的流體循環(huán)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)溫度控制，原理：通過負(fù)壓發(fā)?器驅(qū)動導(dǎo)熱介質(zhì)（?/油）循環(huán)，避免泄漏?險，適?于各種類型板卡冷卻。

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