晶圓制程中，低電導(dǎo)率溫控是保障產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵，超純水的電導(dǎo)率與溫度穩(wěn)定性直接影響晶圓表面潔凈度與電氣性能。

超純水溫控系列設(shè)備聚焦低電導(dǎo)率介質(zhì)控溫需求，適配晶圓清洗、蝕刻、沉積等多道工序。設(shè)備核心優(yōu)勢(shì)在于低電導(dǎo)率介質(zhì)維持能力，以 DI 水為循環(huán)介質(zhì)，電導(dǎo)率穩(wěn)定控制在 10-18MΩ?cm，滿足晶圓制程對(duì)低離子污染的要求。

高電導(dǎo)率介質(zhì)易引發(fā)電化學(xué)腐蝕，損傷晶圓電路，低電導(dǎo)率可有xiao規(guī)避該風(fēng)險(xiǎn)。溫度控制范圍 + 15℃至 + 40℃，控溫jing度 ±0.1℃，可定制更高jing度。晶圓制程中，不同工序?qū)囟刃枨蟛煌?，如清洗工序?20-25℃穩(wěn)定水溫，沉積工序需jing準(zhǔn)控溫保障薄膜均勻性，設(shè)備可靈活適配。

系統(tǒng)配置上，采用全密閉管路設(shè)計(jì)，減少外界雜質(zhì)混入；內(nèi)置多級(jí)jing密過(guò)濾器，持續(xù)去除介質(zhì)中的顆粒與離子，維持水質(zhì)穩(wěn)定；管路采用低析出材質(zhì)，避免材質(zhì)溶出導(dǎo)致電導(dǎo)率上升。運(yùn)行模式支持沖洗型與循環(huán)型，適配不同制程場(chǎng)景。沖洗型適合對(duì)潔凈度要求ji高的關(guān)鍵工序，循環(huán)型適合連續(xù)量產(chǎn)工序，降低運(yùn)行成本。

1. loop/2-loop 通道設(shè)計(jì)，可同時(shí)為不同工位提供獨(dú)立低電導(dǎo)率溫控。設(shè)備具備完善的水質(zhì)與溫度監(jiān)測(cè)功能，實(shí)時(shí)監(jiān)控電導(dǎo)率、溫度、流量等參數(shù)，異常時(shí)自動(dòng)報(bào)jing。支持?jǐn)?shù)據(jù)記錄與導(dǎo)出，便于制程追溯與工藝優(yōu)化，契合晶圓制程的jing細(xì)化管控需求。

超純水溫控系列設(shè)備通過(guò)低電導(dǎo)率維持、jing準(zhǔn)溫控與穩(wěn)定運(yùn)行，為晶圓制程提供可靠的溫控解決方案，保障產(chǎn)品一致性與良率。

LT系列低溫冷凍機(jī)

適用范圍 冠亞恒溫低溫冷凍機(jī)溫度范圍從-150℃到-5℃，采用二次過(guò)冷技術(shù)，制冷迅速。產(chǎn)品可靠性強(qiáng)，性能優(yōu)異。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features ? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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LTZ變頻系列低溫冷凍機(jī)組

適用范圍 LTZ系列低溫冷凍機(jī)采用變頻技術(shù)，節(jié)約能耗，控溫范圍：-115℃～30℃，控溫精度：±0.5℃。變頻壓縮機(jī)組通過(guò)內(nèi)置變頻裝置隨時(shí)根據(jù)??冷熱負(fù)荷需求改變直流壓縮機(jī)的運(yùn)?轉(zhuǎn)速，從?避免壓縮機(jī)與電加熱滿負(fù)荷對(duì)抗，保持機(jī)組穩(wěn)定的?作狀態(tài)，達(dá)到節(jié)能效果。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features ? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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HLTZ系列氫氣換熱制冷機(jī)組

適用范圍 氫氣經(jīng)過(guò)內(nèi)高壓換熱器，制冷系統(tǒng)通過(guò)制冷劑直接與氫氣換熱，實(shí)現(xiàn)換熱控溫效率高；設(shè)備本體采用正壓防爆系統(tǒng)，正壓系統(tǒng)內(nèi)置有恒溫器，確保系統(tǒng)環(huán)境維持在常溫。相對(duì)于傳統(tǒng)防凍液或其他流體與氫氣換熱，本設(shè)備采用介質(zhì)為制冷系統(tǒng)制冷劑（相變熱），能效更高；內(nèi)置有可再生干燥機(jī)，確保正壓系統(tǒng)內(nèi)部干燥，沒(méi)有冷凝水；可與耐高壓微通道換熱器或殼管換熱器（99Mpa)組合…

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LG螺桿機(jī)組系列

適用范圍 本系列設(shè)備適?于各類化?、醫(yī)藥、機(jī)械等領(lǐng)域?產(chǎn)?藝?yán)湓?，可提?110℃~30℃冷凍介質(zhì)，可作為冰蓄冷、低溫送?及其它?產(chǎn)?藝所要求的?藝?yán)湓础?產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features ? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter LG 5℃~30℃

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2度純水DI制冷控溫機(jī)組

適用范圍 應(yīng)用： 特別適合生產(chǎn)過(guò)程中2℃~5℃DI水需求的應(yīng)該場(chǎng)景。 常溫DI水進(jìn)入控溫機(jī)組，出需求目標(biāo)溫度DI水，解決了水在5℃以內(nèi)控溫容易結(jié)凍問(wèn)題。 設(shè)備跟據(jù)不同的進(jìn)水量及溫度自動(dòng)調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng)溫度及冷量達(dá)到目標(biāo)需求的DI溫度。 采用變頻調(diào)節(jié)，進(jìn)水流量不穩(wěn)定也可較好的調(diào)節(jié)輸出，達(dá)到較高的控溫精度要求。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter …

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LTZ變頻M系列

LTZ變頻M系列，適合應(yīng)?于?標(biāo)控溫對(duì)象已經(jīng)有蓄冷罐、循環(huán)泵，通過(guò)循環(huán)泵將介質(zhì)輸送?LTZ
M系列制冷控溫機(jī)組，構(gòu)成?個(gè)閉合循環(huán)制冷系統(tǒng)。

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LTZ變頻帶加熱系列

LTZ變頻帶加熱系列，產(chǎn)品支持加熱功能，控溫范圍： -40℃～+90℃，控溫精度：±0.3℃。變頻機(jī)組采?先進(jìn)的變頻技術(shù)，精確控制壓縮和?機(jī)運(yùn)?轉(zhuǎn)速，通過(guò)電?膨脹閥智能調(diào)節(jié)，快速制冷。

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LT-800 桌面款制冷循環(huán)器

桌面款制冷循環(huán)器使用面積小，制冷效率快，有效提升實(shí)驗(yàn)室及小型實(shí)驗(yàn)臺(tái)使用操作效率，高可靠性的產(chǎn)品解決用戶需求。

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