光刻后清洗是半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵工序，用于去除光刻膠殘留、顆粒與金屬雜質(zhì)，其溫控穩(wěn)定性直接影響晶圓良率。

超純水溫控系列設(shè)備專為該場景設(shè)計，以超純水為介質(zhì)，提供潔凈、jing準的溫度控制，適配光刻后清洗的工藝需求。設(shè)備溫度范圍為 + 15℃至 + 40℃，標準控溫jing度 ±0.1℃，可定制 ±0.01℃高jing度配置，滿足光刻后清洗對溫度穩(wěn)定性的嚴苛要求。

清洗過程中，水溫波動過大會導(dǎo)致清洗液反應(yīng)速率不均，影響雜質(zhì)去除效果，穩(wěn)定的溫控可保障清洗一致性。介質(zhì)采用 DI 水，電導(dǎo)率控制在 10-18MΩ?cm，低電導(dǎo)率可避免電流泄漏，防止晶圓發(fā)生電化學(xué)損傷。

設(shè)備內(nèi)置高jing度過濾器，降低游離離子污染，避免二次污染晶圓表面。支持沖洗型與循環(huán)型兩種運行模式。沖洗型模式輸出新鮮超純水，適配高潔凈度要求的jing細清洗；循環(huán)型模式實現(xiàn)介質(zhì)閉環(huán)循環(huán)，降低水耗，適配量產(chǎn)線批量清洗。

同時具備 1-loop/2-loop 通道配置，可單工位獨立控溫或雙工位同步作業(yè)。控制層面采用智能算法，動態(tài)響應(yīng)負載變化，自動調(diào)節(jié)制冷功率，溫度跟隨性良好。配備彩色觸摸屏，可設(shè)定參數(shù)、監(jiān)控狀態(tài)、記錄數(shù)據(jù)，支持 MODBUS 等通訊協(xié)議，可接入產(chǎn)線自動化系統(tǒng)，實現(xiàn)遠程監(jiān)控與追溯。超純水溫控系列設(shè)備以潔凈介質(zhì)、jing準控溫與靈活適配的特點，為光刻后清洗提供穩(wěn)定溫控支撐，助力半導(dǎo)體制程良率提升。

LT系列低溫冷凍機

適用范圍 冠亞恒溫低溫冷凍機溫度范圍從-150℃到-5℃，采用二次過冷技術(shù)，制冷迅速。產(chǎn)品可靠性強，性能優(yōu)異。 產(chǎn)品特點 Product Features ? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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LTZ變頻系列低溫冷凍機組

適用范圍 LTZ系列低溫冷凍機采用變頻技術(shù)，節(jié)約能耗，控溫范圍：-115℃～30℃，控溫精度：±0.5℃。變頻壓縮機組通過內(nèi)置變頻裝置隨時根據(jù)??冷熱負荷需求改變直流壓縮機的運?轉(zhuǎn)速，從?避免壓縮機與電加熱滿負荷對抗，保持機組穩(wěn)定的?作狀態(tài)，達到節(jié)能效果。 產(chǎn)品特點 Product Features ? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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HLTZ系列氫氣換熱制冷機組

適用范圍 氫氣經(jīng)過內(nèi)高壓換熱器，制冷系統(tǒng)通過制冷劑直接與氫氣換熱，實現(xiàn)換熱控溫效率高；設(shè)備本體采用正壓防爆系統(tǒng)，正壓系統(tǒng)內(nèi)置有恒溫器，確保系統(tǒng)環(huán)境維持在常溫。相對于傳統(tǒng)防凍液或其他流體與氫氣換熱，本設(shè)備采用介質(zhì)為制冷系統(tǒng)制冷劑（相變熱），能效更高；內(nèi)置有可再生干燥機，確保正壓系統(tǒng)內(nèi)部干燥，沒有冷凝水；可與耐高壓微通道換熱器或殼管換熱器（99Mpa)組合…

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LG螺桿機組系列

適用范圍 本系列設(shè)備適?于各類化?、醫(yī)藥、機械等領(lǐng)域?產(chǎn)?藝冷源，可提供-110℃~30℃冷凍介質(zhì)，可作為冰蓄冷、低溫送?及其它?產(chǎn)?藝所要求的?藝冷源。 產(chǎn)品特點 Product Features ? 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter LG 5℃~30℃

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2度純水DI制冷控溫機組

適用范圍 應(yīng)用： 特別適合生產(chǎn)過程中2℃~5℃DI水需求的應(yīng)該場景。 常溫DI水進入控溫機組，出需求目標溫度DI水，解決了水在5℃以內(nèi)控溫容易結(jié)凍問題。 設(shè)備跟據(jù)不同的進水量及溫度自動調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng)溫度及冷量達到目標需求的DI溫度。 采用變頻調(diào)節(jié)，進水流量不穩(wěn)定也可較好的調(diào)節(jié)輸出，達到較高的控溫精度要求。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter …

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LTZ變頻M系列

LTZ變頻M系列，適合應(yīng)?于?標控溫對象已經(jīng)有蓄冷罐、循環(huán)泵，通過循環(huán)泵將介質(zhì)輸送?LTZ
M系列制冷控溫機組，構(gòu)成?個閉合循環(huán)制冷系統(tǒng)。

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LTZ變頻帶加熱系列

LTZ變頻帶加熱系列，產(chǎn)品支持加熱功能，控溫范圍： -40℃～+90℃，控溫精度：±0.3℃。變頻機組采?先進的變頻技術(shù)，精確控制壓縮和?機運?轉(zhuǎn)速，通過電?膨脹閥智能調(diào)節(jié)，快速制冷。

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LT-800 桌面款制冷循環(huán)器

桌面款制冷循環(huán)器使用面積小，制冷效率快，有效提升實驗室及小型實驗臺使用操作效率，高可靠性的產(chǎn)品解決用戶需求。

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