半導(dǎo)體投入大，制造工序多，為了提高產(chǎn)品的良品率、確保收益，需要在半導(dǎo)體的每個環(huán)節(jié)進行質(zhì)量把控，影響產(chǎn)品質(zhì)量的其中一個重要因素就是溫度，溫度的穩(wěn)定性及精準(zhǔn)度非常重要，為獲得穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品保駕護航。

冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導(dǎo)體工藝流程提供支持。通過擁有超過16年的溫度控制經(jīng)驗以及與各大zhi名主設(shè)備機臺直接配套經(jīng)驗，我們?yōu)榘雽?dǎo)體客戶提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專業(yè)知識以及全球化服務(wù)，有助于滿足您從鑄錠到測試的半導(dǎo)體工藝流程中苛刻的溫度要求。

型號	FLTZ-001 FLTZ-001W	FLTZ-002 FLTZ-002W	FLTZ-003 FLTZ-003W	FLTZ-004 FLTZ-004W	FLTZ-006 FLTZ-006W	FLTZ-008 FLTZ-008W	FLTZ-010 FLTZ-010W	FLTZ-015 FLTZ-015W
溫度范圍	5℃～40℃(可擴展到90℃)
控制模式	循環(huán)液出口溫度控制
	工件負載溫度控制（選配）
出口控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
工藝工程溫度控制	可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法結(jié)合來控制工件目標(biāo)溫度（動態(tài)控溫）
制冷量@20℃	2.5kW	6kW	9kW	10kW	15kW	20kW	25kW	38kW
加熱能力	0.5kW	1kW	1.5kW	2kW	3kW	4kW	5.5kW	7.5kW
介質(zhì)類型	氟化液、乙二醇水溶液或DI水等
制冷劑類型	R404A、R410A或R448A
介質(zhì)流量壓力	15LPM@3bar	15LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@5bar	30LPM@5bar	30LPM@5bar
介質(zhì)接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
冷卻水	0.6m3/h@23℃	1.1m3/h@23℃	1.6m3/h@23℃	2.2m3/h@23℃	3.3m3/h@23℃	4.4m3/h@23℃	5.5m3/h@23℃	8m3/h@23℃
冷卻水接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc1	Rc1 1/4
膨脹罐容積	10L	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
流量控制	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	20LPM~50LPM	20LPM~50LPM
流量顯示精度	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM
操作面板	7寸彩色觸摸屏
安全防護	具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電源過電流、過欠壓保護、漏液報警、加熱系統(tǒng)保護、進出液口壓力監(jiān)控及低液位保護
通訊類型	支持MODBUS RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。
安裝環(huán)境	No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃氣體 30-70%(No condensation)
電源	220 VAC ± 10%，單相(可定制)/220 VAC ± 10%，三相(可定制)		380 VAC ± 10%，三相(可定制)/220 VAC ± 10%，三相(可定制)
總用電功率（max）	2.5kW	4.5kW	6kW	7kW	11kW	15kW	18.5kW	25kW
外殼材質(zhì)	冷軋板噴塑RAL7035
水冷外形尺寸cm	40*90*100	48*100*115	48*100*115	50*108*130	50*108*140	80*100*165	90*110*165	100*120*165
非標(biāo)定制	帶自動吹掃功能、自動補液、自動排液功能，可定制設(shè)計滿足SEMI或CE等認證

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