電子制造領(lǐng)域中，寬溫域工藝覆蓋材料改性、部件組裝、性能校準(zhǔn)等多個(gè)環(huán)節(jié)，不同工序?qū)囟葏^(qū)間的需求差異明顯。FLTZ -25~+90℃制冷循環(huán)器，是適配電子行業(yè)寬溫域控溫需求的單通道設(shè)備，可同時(shí)覆蓋中低溫至高溫區(qū)間，為電子工藝提供溫控支持。

該設(shè)備的核心溫度范圍設(shè)定為 – 25℃至 + 90℃，可滿足多數(shù)電子寬溫域工藝的溫度需求。控溫精度穩(wěn)定在 ±0.1℃，可根據(jù)工藝要求定制 ±0.01℃精度配置，減少溫度波動(dòng)對(duì)電子部件性能的影響。制冷量 @-15℃為 1kW 至 12kW，加熱能力 1.5kW 至 7.5kW，可適配不同熱負(fù)荷的電子設(shè)備，避免冷量或熱量供給不足的問題。

結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)采用全密閉管道式布局，搭配變頻壓縮機(jī)與磁力驅(qū)動(dòng)泵，降低介質(zhì)揮發(fā)損耗的同時(shí)，提升熱量利用率。40℃以下加熱工況采用壓縮機(jī)熱氣加熱，無需額外配置電加熱器，簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)的同時(shí)降低運(yùn)行能耗。介質(zhì)適配氟化液、乙二醇水溶液等，其中氟化液具備低毒性、不可燃特性，適配電子工藝對(duì)介質(zhì)安全性的要求。

在電子工藝應(yīng)用中，該設(shè)備可覆蓋薄膜沉積低溫控溫、jing密部件高溫固化、電子組件溫度循環(huán)測(cè)試等場(chǎng)景。通過自創(chuàng)無模型自建樹算法與串級(jí)算法結(jié)合，實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)控溫，可根據(jù)工件溫度反饋實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)介質(zhì)溫度，減少工件溫度偏差。設(shè)備配備 7 寸彩色觸摸屏，支持參數(shù)設(shè)置、數(shù)據(jù)記錄與導(dǎo)出，適配電子工藝的可追溯管理需求。

安全配置包含相序保護(hù)、過流保護(hù)、低液位保護(hù)、漏液報(bào)jing等功能，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)，異常時(shí)自動(dòng)停機(jī)報(bào)jing。通訊支持 MODBUS RTU/TCP 協(xié)議，可接入電子產(chǎn)線自動(dòng)化系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控與參數(shù)調(diào)整。FLTZ -25~+90℃設(shè)備以寬溫域覆蓋、穩(wěn)定控溫與安全適配的特點(diǎn)，滿足電子行業(yè)多工序溫控需求。

FLS常溫高精度系列

適用范圍 應(yīng)用： 原理：CHILLER 高精度系列設(shè)備集成蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進(jìn)行制冷加熱，可實(shí)現(xiàn)高精度控溫，適用于光刻機(jī)、涂膠顯影設(shè)備等領(lǐng)域制冷加熱控溫。 核心技術(shù)與優(yōu)勢(shì)： 1.高精度控溫： 采用PID算法或PLC控制，實(shí)現(xiàn)溫度波動(dòng)≤±0.005℃，適用于高精密制造場(chǎng)景。 2.多場(chǎng)景適配： 支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features …

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FLTZH高溫系列

適用范圍 應(yīng)用： CHILLER高溫系列主要應(yīng)用與薄膜沉積領(lǐng)域，適用于CVD、PECVD、MOCVD等需要帶走高溫?zé)崃康墓に囍瞥讨?，滿足半導(dǎo)體高溫測(cè)試需求。 核心技術(shù)與優(yōu)勢(shì)： 1、高溫范圍寬：出口溫度最高可達(dá)300℃。 2、控溫精準(zhǔn)：采用智能算法，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)動(dòng)態(tài)溫度快速響應(yīng)、控制精度±0.1℃（可選配±0.01℃），具有良好的溫度跟隨性。 3、節(jié)約能耗:采用變頻自適應(yīng)調(diào)節(jié)、軟啟動(dòng)等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)…

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FLTZ-U超純水溫控系列

適用范圍 Chiller是由緊密耦合的制冷循環(huán)與介質(zhì)循環(huán)兩大核心系統(tǒng)構(gòu)成，通過兩個(gè)循環(huán)通道間的介質(zhì)gao 效換熱，實(shí)現(xiàn)對(duì)目標(biāo)設(shè)備的精準(zhǔn)、穩(wěn)定溫度控制。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 原理：制冷劑在系統(tǒng)中循環(huán)，通過壓縮、冷凝、節(jié)流和蒸發(fā)四個(gè)過程實(shí)現(xiàn)制冷； 同時(shí)，載冷劑（介質(zhì)）在獨(dú)立的循環(huán)管路中流動(dòng)，通過板換換熱器將冷量持續(xù)…

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FLTRZ二氧化碳系列

適用范圍 FLTRZ系列Chiller采用的CO?（二氧化碳，R744）制冷劑，是契合全球“雙碳”戰(zhàn)略與huan 保趨勢(shì)的gao 效制冷設(shè)備，以天然CO?為制冷介質(zhì)，為半導(dǎo)體行業(yè)提供綠色可靠的制冷解決方案。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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氟化液回收裝置

適用范圍 氟化液回收系統(tǒng)采用一體式風(fēng)冷設(shè)計(jì)。采用品牌的壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器等部件，形成制冷系統(tǒng)提供冷源，蒸發(fā)器與客戶端氟化液循環(huán)系統(tǒng)進(jìn)行換熱，對(duì)氟化液進(jìn)行冷凝后回收。 產(chǎn)品特點(diǎn) Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏方式，可以顯示環(huán)境溫度，具有電源欠壓、缺相報(bào)警，機(jī)組本地觸摸屏可實(shí)現(xiàn)所有溫度監(jiān)視功能。 同時(shí)，…

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FLTZ變頻多通道系列Chiller

FLTZ系列多通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。

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單通道系列 Single Channel Chiller

FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

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面板系列Panel Chiller

面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負(fù)載，確保惡劣?況下持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)?；支持冷卻?動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負(fù)荷，實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)?溫。

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帕爾貼Chiller

冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制； 基于經(jīng)過實(shí)踐驗(yàn)證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠?yàn)榈入x子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制；

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負(fù)壓型控溫機(jī)組

負(fù)壓型控溫系統(tǒng)通過負(fù)壓環(huán)境下的流體循環(huán)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)溫度控制，原理：通過負(fù)壓發(fā)?器驅(qū)動(dòng)導(dǎo)熱介質(zhì)（?/油）循環(huán)，避免泄漏?險(xiǎn)，適?于各種類型板卡冷卻。

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