工業(yè)領(lǐng)域的寬溫域工藝，如材料熱處理、部件溫度循環(huán)測試、jing密制造溫控等，需覆蓋 – 25℃至 + 90℃的溫度區(qū)間，對設(shè)備的溫域覆蓋與控溫穩(wěn)定性要求較高。FLTZ -25~+90℃系列制冷循環(huán)器，作為工業(yè)寬溫域溫控設(shè)備，可實現(xiàn)單設(shè)備覆蓋中低溫至高溫，適配工業(yè)多工序溫控需求。

該系列設(shè)備溫度范圍為 – 25℃至 + 90℃，可滿足工業(yè)多數(shù)寬溫域工藝的溫度需求?？販豭ing度 ±0.1℃，可定制 ±0.01℃高jing度配置，減少溫度波動對工業(yè)產(chǎn)品性能的影響。制冷量 @-15℃為 1kW 至 12kW，加熱能力 1.5kW 至 7.5kW，可適配不同熱負(fù)荷的工業(yè)場景，兼顧制冷與加熱效率。

設(shè)備采用單級蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與全密閉循環(huán)設(shè)計，搭配變頻壓縮機(jī)與磁力驅(qū)動泵，降低能耗的同時提升熱量利用率。40℃以下加熱采用壓縮機(jī)熱氣加熱，無需額外電加熱器，簡化設(shè)備結(jié)構(gòu)，減少故障點。循環(huán)介質(zhì)可選氟化液或乙二醇水溶液，氟化液具備低毒性、不可燃、絕緣特性，適配工業(yè)對介質(zhì)安全性的要求。

在工業(yè)寬溫域應(yīng)用中，該設(shè)備可用于薄膜沉積低溫控溫、jing密部件高溫固化、電子組件溫度循環(huán)測試、金屬材料低溫韌性測試、化工反應(yīng)釜寬溫域溫控等。支持動態(tài)控溫功能，通過無模型自建樹算法與串級算法結(jié)合，可根據(jù)工件溫度反饋實時調(diào)節(jié)介質(zhì)溫度，減少溫度偏差，保障工業(yè)工藝一致性。

操作與配置適配工業(yè)場景，采用 7 寸彩色觸摸屏，支持溫度參數(shù)設(shè)置、升降溫速率調(diào)節(jié)、多段程序編程、數(shù)據(jù)記錄與導(dǎo)出，滿足復(fù)雜工業(yè)工藝的溫度模擬需求。安全防護(hù)包含相序保護(hù)、過流保護(hù)、低液位保護(hù)、漏液報jing、超溫保護(hù)等，實時監(jiān)測設(shè)備運行狀態(tài)，保障工業(yè)生產(chǎn)安全。通訊接口支持 RS485 與以太網(wǎng)，可對接工業(yè)自動化系統(tǒng)，實現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)同步。

FLS常溫高精度系列

適用范圍 應(yīng)用： 原理：CHILLER 高精度系列設(shè)備集成蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進(jìn)行制冷加熱，可實現(xiàn)高精度控溫，適用于光刻機(jī)、涂膠顯影設(shè)備等領(lǐng)域制冷加熱控溫。 核心技術(shù)與優(yōu)勢： 1.高精度控溫： 采用PID算法或PLC控制，實現(xiàn)溫度波動≤±0.005℃，適用于高精密制造場景。 2.多場景適配： 支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用。 產(chǎn)品特點 Product Features …

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FLTZH高溫系列

適用范圍 應(yīng)用： CHILLER高溫系列主要應(yīng)用與薄膜沉積領(lǐng)域，適用于CVD、PECVD、MOCVD等需要帶走高溫?zé)崃康墓に囍瞥讨校瑵M足半導(dǎo)體高溫測試需求。 核心技術(shù)與優(yōu)勢： 1、高溫范圍寬：出口溫度最高可達(dá)300℃。 2、控溫精準(zhǔn)：采用智能算法，實現(xiàn)系統(tǒng)動態(tài)溫度快速響應(yīng)、控制精度±0.1℃（可選配±0.01℃），具有良好的溫度跟隨性。 3、節(jié)約能耗:采用變頻自適應(yīng)調(diào)節(jié)、軟啟動等技術(shù)，實現(xiàn)…

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FLTZ-U超純水溫控系列

適用范圍 Chiller是由緊密耦合的制冷循環(huán)與介質(zhì)循環(huán)兩大核心系統(tǒng)構(gòu)成，通過兩個循環(huán)通道間的介質(zhì)gao 效換熱，實現(xiàn)對目標(biāo)設(shè)備的精準(zhǔn)、穩(wěn)定溫度控制。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 原理：制冷劑在系統(tǒng)中循環(huán)，通過壓縮、冷凝、節(jié)流和蒸發(fā)四個過程實現(xiàn)制冷； 同時，載冷劑（介質(zhì)）在獨立的循環(huán)管路中流動，通過板換換熱器將冷量持續(xù)…

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FLTRZ二氧化碳系列

適用范圍 FLTRZ系列Chiller采用的CO?（二氧化碳，R744）制冷劑，是契合全球“雙碳”戰(zhàn)略與huan 保趨勢的gao 效制冷設(shè)備，以天然CO?為制冷介質(zhì)，為半導(dǎo)體行業(yè)提供綠色可靠的制冷解決方案。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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氟化液回收裝置

適用范圍 氟化液回收系統(tǒng)采用一體式風(fēng)冷設(shè)計。采用品牌的壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器等部件，形成制冷系統(tǒng)提供冷源，蒸發(fā)器與客戶端氟化液循環(huán)系統(tǒng)進(jìn)行換熱，對氟化液進(jìn)行冷凝后回收。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏方式，可以顯示環(huán)境溫度，具有電源欠壓、缺相報警，機(jī)組本地觸摸屏可實現(xiàn)所有溫度監(jiān)視功能。 同時，…

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FLTZ變頻多通道系列Chiller

FLTZ系列多通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。

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單通道系列 Single Channel Chiller

FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

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面板系列Panel Chiller

面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負(fù)載，確保惡劣?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負(fù)荷，實時調(diào)節(jié)?溫。

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帕爾貼Chiller

冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制； 基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制；

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負(fù)壓型控溫機(jī)組

負(fù)壓型控溫系統(tǒng)通過負(fù)壓環(huán)境下的流體循環(huán)實現(xiàn)精準(zhǔn)溫度控制，原理：通過負(fù)壓發(fā)?器驅(qū)動導(dǎo)熱介質(zhì)（?/油）循環(huán)，避免泄漏?險，適?于各種類型板卡冷卻。

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