半導(dǎo)體芯片、晶圓、功率器件測(cè)試過(guò)程中，循環(huán)介質(zhì)承擔(dān)熱量傳遞的作用，介質(zhì)性能直接關(guān)系設(shè)備換熱效率與樣品測(cè)試安全。不少現(xiàn)場(chǎng)人員僅憑介質(zhì)外觀顏色判斷是否更換，即便液體肉眼看起來(lái)清澈，內(nèi)部也可能出現(xiàn)含水率上升、氧化等隱性變化，繼續(xù)使用會(huì)帶來(lái)降溫衰減、露點(diǎn)超標(biāo)、樣品污染等各類問(wèn)題。介質(zhì)更換周期會(huì)受運(yùn)行時(shí)長(zhǎng)、測(cè)試溫度區(qū)間、介質(zhì)種類、車間環(huán)境多重條件影響，本文整理不同工況下介質(zhì)更換參考周期，同時(shí)給出介質(zhì)狀態(tài)判別與更換作業(yè)要點(diǎn)。

一、不同工況介質(zhì)更換周期對(duì)照表

二、影響介質(zhì)更換周期的各類因素

設(shè)備實(shí)際運(yùn)行時(shí)長(zhǎng)會(huì)直接影響介質(zhì)損耗速度，24 小時(shí)不間斷量產(chǎn)工況，介質(zhì)持續(xù)經(jīng)受高低溫交替循環(huán)，氧化吸水速度更快，更換周期需要相應(yīng)縮短；實(shí)驗(yàn)室間斷使用的設(shè)備，雖然單次開(kāi)機(jī)時(shí)間不長(zhǎng)，但停機(jī)階段車間水汽可以通過(guò)密封縫隙緩慢進(jìn)入回路，介質(zhì)性能同樣會(huì)逐步變差，不可無(wú)限拉長(zhǎng)更換間隔。

設(shè)備工作的溫度區(qū)間也是重要影響條件，運(yùn)行溫度越低，介質(zhì)對(duì)含水率、粘度變化越敏感，深冷工況下少量水分就會(huì)造成露點(diǎn)超標(biāo)，裸片測(cè)試場(chǎng)景對(duì)介質(zhì)指標(biāo)約束更嚴(yán)格，更換周期需要適當(dāng)縮短。

車間環(huán)境濕度較高、潔凈度一般，空氣中水汽、微小粉塵更容易滲入循環(huán)回路，會(huì)加速介質(zhì)性能衰減；設(shè)備分子篩干燥系統(tǒng)維護(hù)到位，能夠延緩介質(zhì)吸水，一定程度延長(zhǎng)介質(zhì)使用時(shí)間，但無(wú)法完全替代定期更換作業(yè)。

三、介質(zhì)需要提前更換的判別現(xiàn)象

除參考時(shí)間周期之外，出現(xiàn)下面現(xiàn)象可提前開(kāi)展介質(zhì)更換：取樣觀察介質(zhì)顏色明顯發(fā)黃、出現(xiàn)渾濁懸浮雜質(zhì)；檢測(cè)得到介質(zhì)含水率、粘度偏離出廠標(biāo)準(zhǔn)；設(shè)備同等負(fù)載下降溫、升溫速率出現(xiàn)明顯下滑；系統(tǒng)露點(diǎn)數(shù)值持續(xù)居高，再生分子篩之后依舊無(wú)法回落至工藝要求區(qū)間。

四、介質(zhì)更換配套操作要點(diǎn)

排放舊介質(zhì)之后，不要直接加注新介質(zhì)，需要同步清洗循環(huán)管路、過(guò)濾器，清除管路內(nèi)壁析出的油泥雜質(zhì)，避免舊介質(zhì)殘留污染新介質(zhì)；加注新介質(zhì)選用設(shè)備說(shuō)明書(shū)指定型號(hào)，不混用不同類型導(dǎo)熱介質(zhì)；加注完成后執(zhí)行完整排氣操作，空載運(yùn)行一段時(shí)間，檢測(cè)粘度、含水率、露點(diǎn)各項(xiàng)指標(biāo)達(dá)標(biāo)，再接入芯片測(cè)試工裝開(kāi)展試驗(yàn)。

五、日常延緩介質(zhì)老化的運(yùn)維手段

按周期再生或者更換分子篩組件，降低回路內(nèi)部水汽含量；定期檢查腔體、管路密封墊片，減少外界水汽滲入；過(guò)濾器濾芯按期更換，攔截固體雜質(zhì)，減少雜質(zhì)帶來(lái)的介質(zhì)催化氧化。

總結(jié)

半導(dǎo)體冷熱一體機(jī)介質(zhì)更換不能只看外觀，需要結(jié)合運(yùn)行時(shí)長(zhǎng)、工作溫度、介質(zhì)種類綜合確定更換時(shí)間，量產(chǎn)深冷裸片測(cè)試工況更換間隔短，實(shí)驗(yàn)室中低溫成品測(cè)試可適度拉長(zhǎng)周期。到達(dá)周期或者指標(biāo)異常時(shí)完整更換介質(zhì)，同步清洗管路與過(guò)濾組件，保障換熱效率，規(guī)避水汽雜質(zhì)給芯片樣品帶來(lái)的不良影響。

FAQ

Q：介質(zhì)看起來(lái)透明清澈，是否就不需要更換？

A：目視外觀無(wú)法檢測(cè)含水率與粘度，部分介質(zhì)已經(jīng)吸水氧化，但肉眼看不出渾濁，需要依靠?jī)x器檢測(cè)輔助判斷。

Q：不同種類循環(huán)介質(zhì)可以混合補(bǔ)充使用嗎？

A：不建議混用，不同介質(zhì)理化參數(shù)存在差異，混合之后會(huì)出現(xiàn)粘度異常、析出沉淀物。

Q：做好分子篩再生，是否可以不用更換介質(zhì)？

A：分子篩只能吸附水分，無(wú)法消除介質(zhì)氧化產(chǎn)生的其它雜質(zhì)，不能代替介質(zhì)更換。