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芯片測(cè)試低溫 chiller 高壓報(bào)警排查步驟有哪些?

行業(yè)新聞 00

低溫 chiller 高壓報(bào)警是半導(dǎo)體芯片測(cè)試、晶圓老化產(chǎn)線高發(fā)停機(jī)故障,高壓保護(hù)屬于機(jī)組內(nèi)置自我防護(hù)程序,一旦觸發(fā)保護(hù)機(jī)制設(shè)備直接停機(jī),芯片溫循、老化工序立刻中斷,影響批量芯片檢測(cè)進(jìn)度。多數(shù)現(xiàn)場(chǎng)人員遇到高壓報(bào)警只會(huì)簡(jiǎn)單重啟設(shè)備臨時(shí)恢復(fù)運(yùn)行,未找到根源故障會(huì)反復(fù)報(bào)警停機(jī)。半導(dǎo)體專用低溫 chiller 結(jié)構(gòu)包含單級(jí)、復(fù)疊兩種機(jī)型,高壓故障誘因存在差異,本文整理標(biāo)準(zhǔn)化分層排查流程,區(qū)分假性報(bào)警與硬件故障,配套對(duì)應(yīng)處理方案,降低設(shè)備停機(jī)頻次。

芯片測(cè)試低溫 chiller 高壓報(bào)警排查步驟有哪些?(images 1)

一、高壓報(bào)警不同工況現(xiàn)象及誘因?qū)φ毡?/strong>

報(bào)警工況主要誘因對(duì)芯片產(chǎn)線影響
夏季高溫環(huán)境頻繁高壓報(bào)警機(jī)房通風(fēng)差、冷凝器積灰散熱受阻設(shè)備頻繁停機(jī),芯片測(cè)試批次中斷,產(chǎn)能縮減
設(shè)備滿載深冷運(yùn)行觸發(fā)高壓保護(hù)冷量匹配不足,壓縮機(jī)長(zhǎng)期滿負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)深冷芯片測(cè)試工序無(wú)法完整運(yùn)行,數(shù)據(jù)采集中斷
開機(jī)短時(shí)間直接高壓報(bào)警管路堵塞、冷媒加注過(guò)量、壓力傳感器故障設(shè)備無(wú)法啟動(dòng),產(chǎn)線芯片工裝無(wú)法控溫
間歇式隨機(jī)高壓報(bào)警,無(wú)固定規(guī)律管路輕微堵塞、風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速不足、電壓不穩(wěn)測(cè)試曲線中途斷裂,芯片檢測(cè)數(shù)據(jù)作廢,需重新測(cè)試

二、分層標(biāo)準(zhǔn)化高壓報(bào)警排查步驟

①:基礎(chǔ)環(huán)境與外部配套排查(無(wú)需拆機(jī),優(yōu)先檢測(cè))

  1. 檢測(cè)機(jī)房環(huán)境溫度,半導(dǎo)體車間制冷機(jī)房適宜環(huán)境溫度區(qū)間 20-30℃,夏季室溫超過(guò) 35℃較易引發(fā)高壓;查看設(shè)備周邊通風(fēng)空間,機(jī)組兩側(cè)、背部預(yù)留散熱空間不足會(huì)造成熱量堆積。
  2. 檢查散熱風(fēng)機(jī)運(yùn)行狀態(tài),風(fēng)冷機(jī)型查看風(fēng)機(jī)是否停轉(zhuǎn)、轉(zhuǎn)速降低、扇葉積灰;水冷機(jī)型確認(rèn)冷卻水供水流量、進(jìn)水溫度,冷卻水?dāng)喙?、水溫過(guò)高直接觸發(fā)高壓。
  3. 核對(duì)廠區(qū)供電電壓,電壓波動(dòng)幅度過(guò)大,風(fēng)機(jī)、壓縮機(jī)運(yùn)行功率不穩(wěn)定,壓力數(shù)值異常觸發(fā)保護(hù),記錄電壓數(shù)值排除供電問(wèn)題。

②:換熱系統(tǒng)外觀清潔排查

  1. 風(fēng)冷機(jī)型:觀察冷凝器翅片,粉塵、絮狀物全覆蓋會(huì)阻斷空氣流通,散熱效率下降,高壓側(cè)壓力持續(xù)上升;使用高壓氣槍吹掃翅片粉塵,清理周邊堆積雜物。
  2. 水冷機(jī)型:查看冷卻水進(jìn)出水管壓差,壓差過(guò)大代表冷凝器內(nèi)壁結(jié)垢堵塞,換熱能力下降,需要停機(jī)做除垢清洗。
  3. 檢查循環(huán)介質(zhì)管路過(guò)濾器,濾芯堵塞造成內(nèi)部換熱不暢,系統(tǒng)熱負(fù)荷堆積,連帶制冷回路壓力升高。

③:制冷系統(tǒng)內(nèi)部工況檢測(cè)

  1. 查看冷媒加注量,冷媒加注超出設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)容量,制冷回路高壓側(cè)壓力持續(xù)超標(biāo),釋放多余冷媒至標(biāo)準(zhǔn)刻度;冷媒不足一般觸發(fā)低壓報(bào)警,較少造成高壓故障。
  2. 檢測(cè)制冷管路是否存在局部堵塞,干燥過(guò)濾器、節(jié)流部件堵塞,冷媒循環(huán)受阻,高壓端壓力快速升高,需要拆解清理或更換過(guò)濾配件。
  3. 復(fù)疊式低溫 chiller 額外檢測(cè)高溫級(jí)機(jī)組散熱,高溫級(jí)散熱故障會(huì)傳遞壓力至次級(jí)回路,整機(jī)同步高壓報(bào)警。

④:電氣配件故障排查(前三層無(wú)問(wèn)題再操作)

  1. 壓力傳感器校驗(yàn),傳感器老化、線路松動(dòng)會(huì)傳輸錯(cuò)誤壓力信號(hào),出現(xiàn)無(wú)故障假性高壓報(bào)警,更換傳感器后重新校準(zhǔn)參數(shù)。
  2. 控制主板程序檢測(cè),主板信號(hào)采集模塊故障,誤判壓力數(shù)值觸發(fā)保護(hù),恢復(fù)出廠參數(shù)或檢修主板線路。
  3. 高壓保護(hù)繼電器故障,繼電器觸點(diǎn)粘連,設(shè)備開機(jī)直接報(bào)高壓故障,更換配套繼電器配件。

三、不同機(jī)型高壓故障專屬處理方案

  1. 風(fēng)冷單級(jí)低溫 chiller:80% 高壓報(bào)警問(wèn)題集中在翅片積灰、機(jī)房高溫、風(fēng)機(jī)故障,優(yōu)先清理散熱組件、優(yōu)化機(jī)房通風(fēng)即可解決。
  2. 水冷復(fù)疊低溫 chiller:高壓故障多來(lái)自冷卻水供水異常、高溫級(jí)冷凝器結(jié)垢,定期監(jiān)測(cè)冷卻水溫度與壓差,按月清洗換熱管壁。

四、長(zhǎng)期規(guī)避高壓報(bào)警運(yùn)維要點(diǎn)

每日巡檢記錄機(jī)組運(yùn)行高壓數(shù)值,對(duì)比標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行區(qū)間,數(shù)值持續(xù)偏高提前清潔換熱系統(tǒng);夏季機(jī)房增設(shè)強(qiáng)制排風(fēng)設(shè)備,穩(wěn)定機(jī)房環(huán)境溫度;每季度檢查散熱風(fēng)機(jī)運(yùn)行轉(zhuǎn)速,及時(shí)更換老化風(fēng)機(jī);加注冷媒嚴(yán)格參照設(shè)備銘牌標(biāo)準(zhǔn)容量,禁止過(guò)量加注;每年校準(zhǔn)一次壓力傳感器,消除假性報(bào)警問(wèn)題。

總結(jié)

芯片測(cè)試低溫 chiller 高壓報(bào)警遵循從外到內(nèi)、由簡(jiǎn)至繁的排查邏輯,優(yōu)先排查機(jī)房環(huán)境、散熱設(shè)備,再檢測(cè)制冷管路,最后校驗(yàn)電氣傳感配件,多數(shù)故障通過(guò)清潔、通風(fēng)、調(diào)整冷媒容量即可解決。不排查根源僅重啟設(shè)備,會(huì)造成故障反復(fù)出現(xiàn),持續(xù)干擾芯片測(cè)試工序,規(guī)范分層排查流程可大幅降低設(shè)備停機(jī)時(shí)長(zhǎng)。

芯片測(cè)試低溫 chiller 高壓報(bào)警排查步驟有哪些?(images 2)

FAQ

Q1:每次滿載運(yùn)行才會(huì)高壓報(bào)警,空載完全正常是什么原因?

A1:設(shè)備冷量余量不足,滿載后壓縮機(jī)長(zhǎng)期高負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn),散熱壓力激增,可優(yōu)化機(jī)房散熱或更換大冷量機(jī)型。

Q2:清洗完冷凝器后依舊頻繁高壓報(bào)警怎么檢修?

A2:檢查冷卻水供水流量、冷媒加注量,同步校驗(yàn)高壓壓力傳感器是否信號(hào)失真。

Q3:冬季低溫環(huán)境也出現(xiàn)高壓報(bào)警屬于異常情況嗎?

A3:屬于異常,多為管路堵塞、冷媒加注過(guò)量、傳感器故障,與環(huán)境溫度無(wú)關(guān),需要拆解檢測(cè)制冷回路。

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